纳米压印模板制备 |
| 时间：2025-04-25 12:52:02 来源：互联网 作者： |
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AccSci英生科技https://www.accscicn.com › solutions › nanofabrication › what微纳加工 | 纳米压印技术（NIL）介绍及应用3 天之前 · 纳米压印光刻 (NIL) 是一种制作纳米级图案的微纳加工工艺，是加工聚合物结构最常用的方法。拥有成本低、工期短、产量高、分辨率高等优点。成熟且常用的纳米压印技术工艺主要有：纳米热压印(T-NIL) 技术、紫外光固化压印( 更多内容请查看https://www.accscicn.com/solutions/nanofabrication/what-is-nanoimprinting/
.sb_doct_txt{color:#671bc7;font-size:11px;line-height:21px;margin-right:3px;vertical-align:super}.b_dark .sb_doct_txt{color:#82c7ff}西北工业大学学报https://journals.nwpu.edu.cn › fileJXKXYJS › journal › article › [PDF]反应离子刻蚀法制备石英纳米 压印模板的工艺研究2013年2月1日 · 摘 要:为了使用紫外纳米压印法制备出亚波长结构，研究了在石英衬底上采用光刻和反应离子刻 蚀技术制备出紫外纳米压印模板，以及模板制备过程中工艺参数对光刻胶和刻 更多内容请查看https://journals.nwpu.edu.cn/fileJXKXYJS/journal/article/jxkxyjs/2012/11/PDF/20121114.pdf
X技术网一种高深宽比纳米压印模板的制备方法 本发明涉及纳米压印技术领域，尤其是涉及一种高深宽比纳米压印模板的制备方法，包括以下步骤：利用深紫外光刻技术，在光刻胶上形成间距为110‑200nm，宽度 更多内容请查看https://www.xjishu.com/zhuanli/20/202411540634.html
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万方数据知识服务平台https://d.wanfangdata.com.cn › thesis纳米压印工艺及模板制备的研究-学位-万方数据知识服务平台用镍制作的纳米压印模板机械强度高、韧性好、使用寿命长，而且模板的制作工艺简单、成本较低，是用来代替硅模板推动纳米压印技术应用于工业化生产最具潜力的材料。bkok.cn更多内容请查看https://d.wanfangdata.com.cn/thesis/ChhUaGVzaXNOZXdTMjAyNDA5MjAxNTE3MjUSCFkyOTQxOTc0Ggh5NjgxcXpzdQ%3D%3D
X技术网纳米压印模板胶及其制备方法与流程 本申请涉及纳米压印，尤其涉及一种纳米压印模板胶及其制备方法。 背景技术： 1、纳米压印技术是一个将母版上的微结构转印至晶圆上面的过程。更多内容请查看https://www.xjishu.com/zhuanli/28/202411191109.html
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