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涂胶机型号

时间：2025-02-22 17:37:40 来源：互联网作者：

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半导体设备系列-涂胶/显影设备涂胶显影设备是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、烘烤及显影设备，包括涂胶机（又称涂布机、匀胶机，英文简称Spin Coater）、喷胶机（适用于不规则表面晶圆的光更多内容请查看https://zhuanlan.zhihu.com/p/624053910

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